含氟廢氣是指含有氟化氫和四氟化硅氣體的廢氣。隨著工業的發展，在開采和應用含氟礦石的過程中，便引起了氟化物的擴散、轉移，從而造成了氟對大氣、水體、土壤的污染例如，在高溫下燃燒和熔融含氟礦石時釋放出大量氟化氫、四氧化硅和其他氟化物的粉塵。因此，冶金工業和磷肥工業是主要發的氟污染源。此外，玻璃制造、水泥生產、四氟乙烯等含氟塑料、冷凍劑氟利昂生產、某些催化劑、助溶劑制造等等都存在著含氟廢氣的污染問題。
氟是人體組成元素之一。正常人體的平均含氟量為70ppm，體內含氟過多或過少都會引起病變。被攝入體內的氟一半或多半被排出。但被機體保留的氟過多會引起骨質疏松、骨膜增生、外生骨刺等病變。一般臨床癥狀為軀干骨干骨節疼痛，四肢麻木，關節活動受阻，肢體變畸形，行走困難，易發生骨折。
植物若在氣態氟化物的大氣中生長，即便氟濃度很低，由于氟化物對植物具有積累毒害作用。當葉片中氟含量積累到50～200ppm時，一般植物就會壞死。植物受到氟氣傷害時，開始僅在葉尖和葉邊出現受害癥狀，嚴重的幾小時后邊開始顧偉，同時綠色消失，變成黃褐色并逐漸向葉子中部擴展，兩三天后變成深褐色，干枯脫落。
含氟氣體對大氣污染雖然其數量不如硫氧化物和丹陽化物大，影響面也較小，但其毒性較大。比如氟化氫或四氟化硅氣體對人體的危害比SO2大20倍，對植物的毒害作用比SO2大10～100倍，因此必須重視對其防治。
